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            技術文章

            優普超純水制造系統的生產過程究竟有多復雜?
            點擊次數:89 發布時間:2022-07-04
              優普超純水制造系統是指系統從原水完全生產到超純水的生產系統。一般超純水系統通過離子交換、脫氣、反滲透、UV、超濾、納米速率、離子吸附過濾等多重過濾產生超純水。一般來說,超純水系統可分為三部分:超純水制造區(CUB部分);超純水拋光循環區(FAB部分);超純水傳輸網絡(FAB各使用區)。
              

            優普超純水制造系統

             

              優普超純水制造系統是一個非常重要且復雜的部分,分為預處理、初級純水處理和超純水處理三個部分。預處理部分主要包括:砂濾和活性炭塔;初級純水主要包括陰離子交換塔、脫氣塔(DG)、安全過濾器、紫外線殺菌器和多級反滲透;超純水主要包括:MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)和末端過濾器。但考慮到輸水管道在將高純水輸送到工藝線設備的過程中會再次污染水質,因此拋光循環系統一般設置在晶圓廠內。精制循環系統主要以MB為核心,外加超濾設備(UF),在將純水輸送到工藝生產線的過程中,去除管網中溶解在水中的雜質。
              
              1、液位聯鎖全自動控制,具有系統開機自檢、原水不足停機自動保護、系統低壓高壓停機報警、缺相過流停機報警、自動水箱高水位停機/中水位啟動、系統自動沖洗等。同時系統還具有手動操作功能,滿足應急需要;
              
              2、增強型預處理系統采用全自動控制閥,實現預處理的自動/手動再生,使用壽命長;
              
              3、恒壓供水系統由全自動水泵控制器控制,數字電路經久耐用,可手動操作;
              
              4、儀器儀表全顯示設計,可有效監測系統各項指標,純水電導儀在線監測??膜水質,純水電導儀實時監測純水電導率;
              
              5、優普超純水制造系統采用CNP專用高壓泵、進口RO膜、進口繼電器、管道接頭等元件,采用模塊化、一體化工藝設計,性能穩定,設備安裝維護簡單。

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